在
精密零件加工領(lǐng)域,變壓器式測微機(jī)構(gòu),又稱互感式傳感器,是自感式傳感器的一種變型。其原理類似變壓器,不同的是,后者為閉合磁路,前者為開放磁路。后者初、次級之間的互感為常數(shù),前者初、次級之間的互感隨銜鐵的移動(dòng)而變化,兩個(gè)次級繞組按差動(dòng)方式工作,稱為差動(dòng)變壓。它和自感式傳感器統(tǒng)稱為電感傳感器。
比如在
精密機(jī)械零件加工廠,
精密加工的變壓器式測微機(jī)構(gòu)有變氣隙式、變截面式和螺管式三種類型。
變氣隙式靈敏度高,但測量范圍小,一般只用于測量范圍幾十微米到幾百微米的位移。變截面式一般用于測量角位移,可分辦零點(diǎn)幾秒的微小角位移,線性可達(dá)+-10°。螺管式可測量幾納米到1m的位移,但靈敏度低。
在精密零件加工領(lǐng)域,變壓器式測微機(jī)構(gòu)的誤差來源與電感測微機(jī)構(gòu)有相同的因素,不同之處在于多了一個(gè)初級線圈,又帶來一定的誤差來源,溫度的影響可以從電路上來補(bǔ)償。
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